感應(yīng)同步器分為直線式和旋轉(zhuǎn)式(圓盤式)兩種基本類型,直線式用于測量直線位移,旋轉(zhuǎn)式用于測量角位移,它們的基本工作原理是相同的。
直線式感應(yīng)同步器是由可以相對移動的滑尺和定尺(對于直線式)或轉(zhuǎn)子和定子(對于旋轉(zhuǎn)式)組成,它們的截面結(jié)構(gòu)如圖1所示?;宀牧弦话悴捎玫吞间摶蛘卟AУ确菍?dǎo)磁材料。加工后的基板上粘貼絕緣層和銅箔,絕緣層和銅箔要求厚度均勻和平整。一般在保證絕緣強度條件下,絕緣層越薄越好 (<0.1mm),銅箔厚度為0.04mm~0.05mm。采用玻璃基板時則用真空蒸鍍鋁或銀,然后再用光刻和化學(xué)腐蝕工藝將銅箔或鋁膜蝕刻成需要的圖形。最后進行表面防護處理,在滑尺表面貼上一層鋁箔,以防止靜電感應(yīng)。
圖1 直線式感應(yīng)同步器截面結(jié)構(gòu)及繞組圖形
1-基板 2-絕緣層 3-導(dǎo)片 4-耐腐絕緣層 5-絕緣粘合劑 6-鋁箔
典型的直線感應(yīng)同步器的定尺長度為250 mm,分布著周期W為2 mm的連續(xù)繞組?;唛L100mm,分布著交替排列的兩個繞組——正弦繞組和余弦繞組,它們的周期相等,相位差為90°電角度,即位置上相差W/4的距離。

直線感應(yīng)同步器有標(biāo)準(zhǔn)型、窄型和帶型幾種型式。標(biāo)準(zhǔn)型感應(yīng)同步器是其中精度最高的一種,使用也最廣泛;窄型感應(yīng)同步器的定尺和滑尺寬度都只有標(biāo)準(zhǔn)的一半,主要用于位置受到限制的場合。因它的寬度窄,所以耦合情況不如標(biāo)準(zhǔn)型,精度也較低,當(dāng)設(shè)備上的安裝面不易加工時,可采用帶型感應(yīng)同步器。定尺繞組用照相腐蝕法印制在鋼帶上,滑尺預(yù)先安裝好調(diào)整好并封裝在一個盒子里,通過支架與機體連接。由于鋼帶兩端固定點可隨設(shè)備伸縮,故能減小由于熱變形而產(chǎn)生的測量誤差。
當(dāng)量程較大時,可將標(biāo)準(zhǔn)型和窄型感應(yīng)器同步器的定尺拼接使用,帶型定尺不需要拼接,但由于其剛性較差,機械安裝參數(shù)不易保證,其測量精度也比標(biāo)準(zhǔn)型低。
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